@article{PismaZhETF.64.695, title = {Эффекты импульсного воздействия ионами низких энергий при гомоэпитаксии кремния из молекулярного пучка}, author = {Двуреченский, А. В. and Зиновьев, В. А. and Марков, В. А. and Грёцшель, Р. and Хайниг, К. -Х.}, journal = {Письма в ЖЭТФ}, volume = {64}, issue = {10}, pages = {695}, year = {1996}, doi = {}, url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_15000.shtml}, }