@article{PismaZhETF.116.810, title = {Наночастицы 6H-SiC, интегрированные с атомно-силовым микроскопом для сканирующих квантовых сенсоров}, author = {Лихачев, К. В. and Бреев, И. Д. and Кидалов, С. В. and Баранов, П. Г. and Нагалюк, С. С. and Анкудинов, А. В. and Анисимов, А. Н.}, journal = {Письма в ЖЭТФ}, volume = {116}, issue = {11}, pages = {810}, year = {2022}, doi = {10.31857/S1234567822230112}, url = {http://jetpletters.ru/ps/dx/10.31857/S1234567822230112}, }