@article{PismaZhETF.121.945,
    title = {Термостабильный сегнетоэлектрик HfO$_{\bf2}$\,:\,Al$_{\bf2}$O$_{\bf3}$ (10:1) в SOI и SOS  гетероструктурах  после RTA обработок и утончения кремния окислением$^{1)}$ },
    author = {Попов, В. П. and Антонов, В. А. and Жилицкий, В. Е. and Ломов, А. А. and Мяконьких, А. В. and Руденко, К. В.},
    journal = {Письма в ЖЭТФ},
    volume = {121},
    issue = {12},
    pages = {945},
    year = {2025},
    doi = {},
    url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_36710.shtml},
    note = {[JETP Letters 121, 902 (2025)]}
}