@article{PismaZhETF.60.96, title = {Формирование слоистой структуры в распределении атомов бора в кремнии, инициированное ионной имплантацией}, author = {Мясников, А. М. and Ободников, В. И. and Серяпин, В. Г. and Тишковский, Е. Г. and Фомин, Б. И. and Черепов, Е. И.}, journal = {Письма в ЖЭТФ}, volume = {60}, issue = {2}, pages = {96}, year = {1994}, doi = {}, url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_5272.shtml}, }