Home
For authors
Submission status

Current
Archive (English)
Archive
   Volumes 81-92
   Volumes 41-60
   Volumes 21-40
   Volumes 1-20
   Volumes 61-80
      Volume 80
      Volume 79
      Volume 78
      Volume 77
      Volume 76
      Volume 75
      Volume 74
      Volume 73
      Volume 72
      Volume 71
      Volume 70
      Volume 69
      Volume 68
      Volume 67
      Volume 66
      Volume 65
      Volume 64
      Volume 63
      Volume 62
      Volume 61
Search
VOLUME 78 (2003) | ISSUE 4 | PAGE 291
Лазерное формирование источника ионов для нанотехнологий
PACS: 81.16.-c
Abstract
Предложен и проанализирован метод формирования холодных ионных пучков, основанный на лазерной коллимации и последующей лазерной ионизации атомного пучка. Коллимация первичного атомного пучка, образованного стандартным способом, осуществляется путем поперечного охлаждения резонансным лазерным излучением. Лазерное излучение используется также для многоступенчатой ионизации атомов пучка. Преимущества рассматриваемого метода формирования ионных пучков связаны с низким разбросом начальной энергии пучка (менее 10-1 эВ) и высоким эмиттансом в области виртуального источника \sim10^{-6} см•рад при токе пучка на уровне микроампер. Высокий уровень монохроматичности пучка позволяет заметно подавить эффект хроматической аберрации, что открывает привлекательную возможность использования таких источников в ионной литографии. Кроме этого, предлагаемый метод позволяет расширить набор элементов, используемых в ионных источниках, что представляет самостоятельную технологическую ценность.